Сенсоры для детектирования диоксида азота
Проект направлен на создание хеморезистивных газовых сенсоров
для детектирования диоксида азота (NO2).
О проекте
Проект направлен на создание хеморезистивных газовых сенсоров для детектирования диоксида азота (NO2).

Текущие аналоги на основе оксидов металлов зачастую требуют высоких рабочих температур и обладают ограниченной чувствительностью к низким концентрациям газа. В рамках проекта разработан сенсор, в котором чувствительный слой в виде сплошной наноструктурированной тонкой плёнки AZO, сформированной методом аэрозольного химического осаждения из газовой фазы (AACVD). Такая конфигурация позволяет повысить отклик устройства и снизить рабочую температуру.
Технические характеристики и преимущества
Зависимость отклика сенсоров на основе нелегированного ZnO и AZO от времени при различных концентрациях NO2 (4–100 ppm) и рабочей температуре 225 °C
Чувствительность

Отклик сенсора на 10 ppm NO2 при температуре 225 °C в 3,2 раза превышает отклик контрольного образца на основе нелегированного ZnO, полученного в идентичных условиях.
  • Рабочая температура
    Оптимальный режим детектирования достигается при 225 °C (для сравнения: аналоги на основе толстых плёнок AZO работают при 250−300 °C).
  • Селективность
    Сенсор проявляет отклик к диоксиду азота при отсутствии выраженной реакции на восстановительные газы (CO, H2, CH4, NH3, бензол, ацетон, этанол).
  • Стадия разработки
    Созданы и испытаны лабораторные образцы, проект доведен до уровня готовности технологии TRL 3 (УГТ 3).
Схема Микроэлектромеханичекой подложки
Конструкция

Устройство реализовано на диэлектрической подложке с тонкоплёночным микронагревателем и встречно-штыревыми микроэлектродами
Схема устройства: 1 — диэлектрическая подложка; 2 — микроэлектроды; 3 — микронагреватель; 4 — наноструктурированная тонкая плёнка AZO
Области применения
Сенсоры предназначены для интеграции
в состав газоаналитического оборудования
и могут применяться для:
  • контроля выбросов промышленных предприятий
  • мониторинга воздушной среды на производствах
  • аналитических измерений в лабораторных условиях
Команда проекта
  • Мокрушин Артём Сергеевич
    Технический директор
    82 публикаций
    h-индекс 21
    Более 5 РИДов

    Курирует: разработку методов синтеза, контроль качества, НИР. Анализирует данные экспериментов, оптимизирует производство.
  • Дмитриева Софья Александровна
    Руководитель (генеральный директор)
    9 публикаций

    Дорожная карта, управление ресурсами, координация отделов. Организация производства, договоры с партнёрами/клиентами, контроль КПЭ.
Поддержка проекта
Проект реализован при поддержке Фонда содействия инновациям в рамках программы «Студенческий стартап» мероприятия «Платформа университетского технологического предпринимательства» федерального проекта «Технологии»
Обратная связь
Нажимая на кнопку, вы соглашаетесь с условиями о персональных данных
Контакты
По вопросам сотрудничества и получения дополнительной информации о разработке:
ООО «ГАЗОСЕНС»
✉️ Email: gazosens@yandex.ru